[发明专利]柔性电容阵列及其制备方法、和电容阵列检测系统有效
申请号: | 202010377743.6 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN111504521B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 戴媛;谢珂玮;郭传飞;白宁宁;张瑞瑞;周钦钦;张正友 | 申请(专利权)人: | 腾讯科技(深圳)有限公司;南方科技大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L5/00;G01R27/26 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 公开了一种柔性电容阵列及其制备方法、电容阵列检测系统和机器人。可以基于电容阵列检测系统的结果进行该机器人的运动平衡控制。该柔性电容阵列,包括:第一柔性电极层,其上设置有第一电极阵列;第二柔性电极层,其上设置有与第一电极阵列相对设置的第二电极阵列;间隔层和介电层,所述间隔层和介电层设置于第一电极阵列中与第二电极阵列中相对设置的每个电极对之间,其中,所述电极对、所述间隔层和所述介电层组成了所述柔性电容阵列的单元电容。本公开的柔性电容阵列通过间隔层可以在实现高灵敏度的同时提高柔性电容阵列的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 柔性 电容 阵列 及其 制备 方法 检测 系统 | ||
【主权项】:
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