[发明专利]针状微电极及其制备方法有效
| 申请号： | 202010378168.1 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111591953B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 朱增伟;李安心;李天宇;房晓龙 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 韩天宇 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种针状微电极及其制备方法。其特征在于以钨丝、铜丝或钼丝为原材料，采用电解技术制备出针状电极。随后，依次在针状电极表面覆上铂‑铝‑金‑铂‑铝层。通过对铝层进行不同的阳极氧化处理，得到致密氧化铝结构或多孔氧化铝夹心结构。两种微观结构不同的氧化铝将针状微电极内部绝缘隔离成辅助电极层和针状电极。内部多孔氧化铝结构还为微细电化学加工提供了溶液流道。通过对本发明的针状微电极内部的针状电极和辅助电极层以及阴极施加不同的电位，可实现提高微电沉积加工中阴极电场的定域性，缩小阴极沉积区域，提高成形精度的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 针状 微电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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