[发明专利]沉积方法在审
| 申请号： | 202010378350.7 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111945110A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | A·托马斯;S·伯吉斯;A·拉斯托吉;T·威尔比;S·海默尔 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及沉积方法。本公开的一些实施例公开了一种溅射沉积含添加剂的氮化铝薄膜的方法，所述含添加剂的氮化铝薄膜含有选自钪或钇的添加剂元素，所述方法包括以下步骤：通过脉冲DC反应溅射将含添加剂的氮化铝薄膜的第一层沉积到设置在腔室内的衬底上；以及通过脉冲DC反应溅射在第一层上沉积含添加剂的氮化铝薄膜的第二层，第二层具有与第一层相同的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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