[发明专利]一种等离子体制备抗固体粒子冲蚀陶瓷涂层的方法在审

专利信息
申请号: 202010378791.7 申请日: 2020-05-07
公开(公告)号: CN111485204A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 刘道新;马阿敏;何光宇 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/02
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 金凤
地址: 710072 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种等离子体制备抗固体粒子冲蚀陶瓷涂层的方法,通过改变原始阴极蒸发源元素成分,即采用TiZr合金靶材在钛合金表面制备TiZrN陶瓷层,从而获得具有高强、高韧综合性优的陶瓷涂层,以改善钛合金等金属材料表面的抗大攻角固体粒子冲蚀性能,同时兼顾优异的抗小攻角固体粒子冲蚀性能。本发明在Ti靶材中加入与Ti原子固溶性良好的Zr原子,获得TiZr合金靶材,采用等离子体电弧沉积技术在钛合金表面制备出与其结合强度高,强韧综合性能好的抗固体粒子冲蚀陶瓷涂层。
搜索关键词: 一种 等离子体 制备 固体 粒子 冲蚀 陶瓷 涂层 方法
【主权项】:
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