[发明专利]间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法有效
| 申请号： | 202010379353.2 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111593403B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/26 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供一种间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法，在获取到的所述生产状态影像中，获取参考晶棒直径，并对参考晶棒直径进行修正，以修正后参考晶棒直径为参照，控制等径时的单晶直径。一方面，在所述生产状态影像中，能够获取完整的参考晶棒直径，从而解决了由于晶棒直径过大或单晶炉设计缺陷，导致通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径，造成拉晶直径失控的技术问题。另一方面，提供了一种新的控制拉晶直径的方式，克服通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径的问题的同时，为操作人员测量并控制拉晶直径提供可靠的参考，有利于降低由于测径仪本身、测径仪操作过程及操作人员主观因素引入的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 间接 控制 直径 方法 直拉单晶晶棒 生产 | ||
【主权项】：
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