[发明专利]启用人工智能的过程终点检测有效
| 申请号： | 202010381259.0 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111915551B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | T.G.米勒;J.F.弗拉纳根四世;B.小劳思;R.杨;B.拉森;A.什罗特尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N20/00;G06N3/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 启用人工智能的过程终点检测。公开了用于实施启用人工智能的制备终点检测的方法和系统。示例方法至少包含：获得样品的表面的图像，所述样品包含多个特征；对所述图像进行分析以确定是否已经到达终点，所述终点基于可在所述图像中观察到的所述多个特征中的感兴趣的特征；以及基于未到达所述终点，从所述样品的所述表面去除一材料层。 | ||
| 搜索关键词： | 启用 人工智能 过程 终点 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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