[发明专利]一种光学谐振器低温温度传感器及其制备、封装方法有效
| 申请号： | 202010381499.0 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111649840B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;尤敏敏;林祖德 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01K11/3206 | 分类号： | G01K11/3206;G02B6/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种光学谐振器低温温度传感器及其制备、封装方法，包括器件，器件包括晶圆基片和温度敏感薄膜，温度敏感薄膜设有输入光栅耦合器、输出光栅耦合器和光信号传输部件，光信号传输部件包括光波导和光学谐振腔，光波导与输入光栅耦合器、输出光栅耦合器耦合，光波导用于传输光信号及与光学谐振腔的光信号耦合，光学谐振腔对光场具有限制作用；温度敏感薄膜上方设有一层保护层，且保护层位于器件的顶层。本发明利用光波导的高传输效率及高热光效应性能，具有较高的分辨率及灵敏度，品质因数Q值高达10 |
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| 搜索关键词： | 一种 光学 谐振器 低温 温度传感器 及其 制备 封装 方法 | ||
【主权项】：
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