[发明专利]一种悬浮式石墨烯薄膜结构的制备方法在审
| 申请号： | 202010382893.6 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111422861A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;李真;李支康;李磊;罗运运;杨萍;卢德江;王永录;王久洪;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;H01L21/04;H01L21/027;G01L9/00;G01L1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 孟大帅 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬浮式石墨烯薄膜结构的制备方法，包括以下步骤：步骤1，在铜基石墨烯薄膜表面涂PMMA，获得铜基/石墨烯/PMMA结构；步骤2，将步骤1获得的铜基/石墨烯/PMMA结构置入铜腐蚀液中，刻蚀去掉铜基底，获得PMMA/石墨烯结构；步骤3，将步骤2获得的PMMA/石墨烯结构转移到硅基空腔结构上，获得PMMA/石墨烯/硅结构；步骤4，在步骤3获得的PMMA/石墨烯/硅结构的PMMA表面旋涂光刻胶，光刻显影，氧等离子体图形化石墨烯结构，用丙酮去除光刻胶，获得悬浮式石墨烯薄膜结构。本发明能够低悬浮式石墨烯的加工制作难度，保证悬浮式石墨烯薄膜结构的覆盖完整性，成功率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 石墨 薄膜 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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