[发明专利]一种MEMS探针单转轴对称弯曲测试结构及其俯仰臂有效
| 申请号： | 202010383675.4 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111504766B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 于海超;周明;赵梁玉;刘明星 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02;G01N3/08;G01N3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种MEMS探针单转轴对称弯曲测试结构及其俯仰臂属于IC制造业领域；该结构从上到下依次设置有第一主转轴，第一轴转接件，十字转接件，第二轴转接件和第二主转轴，第一主转轴，第一轴转接件，十字转接件，第二轴转接件和第二主转轴关于十字转接件上下对称；十字转接件的左端同轴安装有能够旋转的左俯仰臂，十字转接件的右端同轴安装有能够旋转的右俯仰臂；左俯仰臂和右俯仰臂的外端部均转轴安装有提拉杆，提拉杆的下端部均连接在升降结构的顶端；升降结构上下运动；该结构能够同时对多个不同尺寸的探针卡同时进行拉伸性能和弯曲性能的测试；由于仅需要一个电机即可实现，因此避免了小尺寸下多个驱动设备拥挤的情况，进而MEMS器件的散热问题得到了解决。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 探针 转轴 对称 弯曲 测试 结构 及其 俯仰 | ||
【主权项】：
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