[发明专利]一种石墨烯压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010383731.4 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111537116B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;李真;罗国希;李磊;罗运运;杨萍;卢德江;王永录;王久洪;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 孟大帅 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯压力传感器及其制备方法，所述石墨烯压力传感器包括：聚二甲基硅氧烷基底、主电极对、辅电极对和石墨烯薄膜；所述聚二甲基硅氧烷基底上加工有空腔；所述主电极对和所述辅电极对设置于所述聚二甲基硅氧烷基底上，分别处于所述空腔的两侧；所述主电极对和所述辅电极对均设置有引线；所述石墨烯薄膜覆盖在所述空腔以及主电极对和辅电极对的引线上；其中，所述石墨烯薄膜通过所述聚二甲基硅氧烷基底的恢复势能实现张紧。本发明中，通过弯曲聚二甲基硅氧烷基底恢复平坦的势能，能够对聚二甲基硅氧烷基底空腔上方区域的石墨烯敏感薄膜进行预应力调节，使其张紧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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