[发明专利]一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器有效
| 申请号： | 202010385837.8 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111430857B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 吴倩楠;韩路路;李孟委;王姗姗;范丽娜 | 申请（专利权）人： | 中北大学;中北大学南通智能光机电研究院 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于可调滤波器技术领域，具体涉及一种基于MEMS开关的T型可调滤波器，包括衬底，所述衬底上固定有两个镜像设置的T型可调谐振器，所述衬底上设有输入谐振器及输出谐振器。所述T型可调谐振器是由弯折T型谐振器、多个射频MEMS开关和多个接地端子组成，所述T型谐振器的尾部弯折，从而缩短整体尺寸。T型谐振器的头部左右两侧分别设有射频MEMS开关，所述射频MEMS开关另一端分别与接地端子相连，接地端子通过TSV通孔与背面接地层相连。本发明可减小滤波器尺寸，降低系统复杂度，具有体积小、高Q值、低损耗、高带外抑制、易集成等优点。在0.01‑22GHz的范围内，有着优越的实用性，实现了MEMS开关与微带线结构的高度集成。本发明用于不同频率的滤波。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射频 mems 开关 可调 滤波器 | ||
【主权项】：
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