[发明专利]一种用于检验缓蚀剂缓蚀效果的试验装置在审
申请号: | 202010386234.X | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN113624913A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 李建勋;李彦颖 | 申请(专利权)人: | 江苏恒茂润化工科技有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于检验缓蚀剂缓蚀效果的试验装置,具体涉及试验装置领域,包括实验箱,所述实验箱的顶部固定安装有支撑柱,所述支撑柱的一侧固定安装有横杆,所述支撑柱的内部嵌入安装有活动套块,所述活动套块的内部活动套装有伸缩杆,素数伸缩杆的底部固定安装有挂钩,所述挂钩的外部可拆卸安装有检测金属片,所述实验箱的底部固定连接有底板,所述底板的内部固定安装有电磁铁。本发明通过设有横杆、活动套块、实验槽和伸缩杆,可以对检测金属片的位置进行改变,从而减少了更换检测金属片所在缓蚀剂浓度不同区域时所需要的时间,一方面可以提高工作效率,另一方面也可以增加检验过程的安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 检验 缓蚀剂缓蚀 效果 试验装置 | ||
【主权项】:
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