[发明专利]一种离子交换玻璃基掩埋型分段式模斑转换器在审
| 申请号： | 202010386539.0 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111487718A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;蒋建光;邓鑫宸;牛梦华;周柯江;车录锋;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/14 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种离子交换玻璃基掩埋型分段式模斑转换器，这种模斑转换器由n段(n≥2)玻璃基锥形波导芯片依次级联而成；每一段玻璃基锥形波导芯片均由玻璃基板(100)及其内部的掩埋型锥形离子掺杂区(101)构成；其中第n段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)粗端的横截面尺寸与第n‑1段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)细端的横截面尺寸相匹配，第n段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离子掺杂区(101)细端作为模斑转换器的输出端。这种玻璃基掩埋型分段式模斑转换器通过n段玻璃基锥形波导芯片级联的方式，可以实现更大幅度的模斑尺寸转换，提高器件性能，同时降低设计和制作的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子交换 玻璃 掩埋 段式 转换器 | ||
【主权项】：
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