[发明专利]一种基于蓝宝石材料的纳米压印模板及其制造方法有效
| 申请号： | 202010386627.0 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111688044B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 梁志强;王银惠;王西彬;赵文祥;周天丰;杨海成;苏瑛;郭芮 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B1/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京慧而行专利代理事务所(普通合伙) 11841 | 代理人： | 李锐 |
| 地址： | 100081 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于蓝宝石材料的纳米压印模板及其制造方法。蓝宝石材料经过精密研磨、第一次退火去应力、多步抛光、湿法清洗及第二次表面结构化退火处理，其表面形成一种纳米台阶结构，该结构作为纳米热压印模板。通过采用不同晶面蓝宝石材料、调整晶面错切角、调整热处理温度和时间等工艺参数均可获得不同台阶高度、宽度的纳米压印模板。本发明的方法简单易操作，对于纳米、亚纳米级新型元器件的开发应用，具有很广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 蓝宝石 材料 纳米 压印 模板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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