[发明专利]一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法有效
| 申请号： | 202010386720.1 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111521130B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 高志山;施帅飞 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G01B9/04 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，通过理论建模分析干涉显微物镜的数值孔径NA、待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，即横向分辨率与纵向分辨率之间的关系，并结合实际情况进行理论推导获得三者之间存在的耦合关系，能够在知晓待测微结构理论三维信息的基础上快速判断其在光学检测中是否会出现蝙蝠翼效应，并对出现的蝙蝠翼效应用一种简单的校正算法进行消除，从而获得准确的三维形貌信息。本发明可通过Mirau型显微干涉仪进行实验验证，使用PSI和VSI两种测量模式进行形貌信息复原。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 判断 消除 蝙蝠 效应 微结构 光学 检测 方法 | ||
【主权项】：
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