[发明专利]一种多会聚角混合扫描电子显微成像方法

摘要

本发明公开了一种多会聚角混合扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的方法为，利用不同会聚角的荷电粒子束对目标物体进行扫描得到若干个衍射图案集，将不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案集进行混合得到混合衍射图案集，再采用重构算法并根据混合衍射图案集进行重构得到目标物体图像；其中，混合衍射图案集均匀分布有不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案。本发明的目的在于克服现有技术中，重构算法中在单一会聚角下只能够得到目标物体的一部分频段信息的重构图像，导致重构的目标物体图像信息不完整不足，本发明的方法可以获取目标物体的完整的频段特征信息，从而可以得到更清晰完整的目标物体图像。