[发明专利]坩埚装置、蒸镀装置

摘要

本发明提供一种坩埚装置、蒸镀装置，所述坩埚装置用以蒸镀金属铝材料，其包括：外层坩埚，具有一外层腔体，其腔体表面覆有热量反射涂层；内层坩埚，具有主体部，所述主体部嵌套于所述外层坩埚的外层腔体内。本发明一方面，通过在外层坩埚内壁设置热量反射涂层，可以使得坩埚装置内的蒸镀材料维持稳定的蒸发速率，并有效的提高蒸镀速率；另一方面，在内层坩埚的上方设置凹槽，且每个凹槽具有溢流孔，可以用于疏导溢出液体至外层坩锅，从而降低液体从坩埚装置的上表面冒出来损坏坩埚装置的风险。