[发明专利]热电堆及其制作方法在审
| 申请号： | 202010389902.4 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111463340A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 周娜;雷雨潇;李俊杰;卢一泓;高建峰;杨涛;李俊峰;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L35/02 | 分类号： | H01L35/02;H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种热电堆及其制作方法，热电堆的制作方法包括如下步骤：在衬底正面形成热电堆结构；在热电堆结构上形成正面保护膜；在衬底背面形成掩膜层；采用干法刻蚀，在掩膜层上形成定位刻蚀窗口；采用湿法腐蚀，对定位刻蚀窗口区域的衬底进行刻蚀释放，形成完全释放的背腔；采用气态氢氟酸去除所述正面保护膜，得到保持完整的热电堆结构，完成热电堆的制备。本发明通过先生长正面保护膜，制备完成背腔后再去除的方式，在具有高选择性释放刻蚀的基础上，保证了热电堆结构的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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