[发明专利]一种含DLC表面修饰层的超高比表面积梯度掺硼金刚石电极及其制备方法与应用有效
申请号: | 202010390591.3 | 申请日: | 2020-05-11 |
公开(公告)号: | CN111663113B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 马莉;魏秋平;周科朝;王宝峰;王立峰;施海平;陈尹豪 | 申请(专利权)人: | 江苏净钻环保科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C02F1/461;C02F1/72;C02F101/30 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 钟丹;魏娟 |
地址: | 210000 江苏省南京市六*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种含DLC表面修饰层的超高比表面积梯度掺硼金刚石电极及其制备方法和应用,所述梯度掺硼金刚石电极是以陶瓷衬底作为电极基体,于电极基体表面设置梯度硼掺杂金刚石层,再于金刚石层表面修饰DLC层;所述梯度硼掺杂金刚石层中硼含量从下至上逐步减少;所述DLC过渡层厚度范围为1μm~200μm;所述梯度硼掺杂金刚石层,由下至上,依次包括硼掺杂金刚石底层、硼掺杂金刚石过渡层、硼掺杂金刚石外层。本发明中在陶瓷衬底表面设置硼含量梯度减少的硼掺杂金刚石层,在与衬底接触的最底层硼含量最高,导电性最强,从而可以赋予陶瓷材料较高的导电性,拓宽陶瓷材料在BDD衬底材料领域的应用范围,同时设置的DLC层可以进一步提升电极材料的亲水性。 | ||
搜索关键词: | 一种 dlc 表面 修饰 超高 表面积 梯度 金刚石 电极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的