[发明专利]一种三维连续网络亲水硼掺杂金刚石散热体及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202010390631.4 申请日: 2020-05-11
公开(公告)号: CN111647873B 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 魏秋平;马莉;周科朝;于杨磊;李崧博 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/02;C23C16/56
代理公司: 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 代理人: 钟丹;魏娟
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种三维连续网络亲水硼掺杂金刚石散热体及其制备方法和应用,所述亲水硼掺杂金刚石散热体包括三维连续网络金属骨架、金刚石层、硼掺杂金刚石层,所述三维连续网络金属骨架表面设置金刚石层,金刚石层表面设置硼掺杂金刚石层;所述硼掺杂金刚石层中硼含量从下至上逐步增加;所述硼掺杂金刚石层表面分布有微孔和/或尖锥;本发明先于三维连续网络金属骨架表面制备具有优异导热性能的金刚石膜层,然后再于金刚石膜层表面设置功能改性能硼掺杂金刚石层,且硼掺杂时进行梯度设置,与金刚石层接触的底层,采用微量硼掺杂,保持纯度,保证导热性,再逐步提高硼掺杂浓度,使顶层采用较高的硼含量,结合高温热处理,获得优异的亲水性。
搜索关键词: 一种 三维 连续 网络 亲水硼 掺杂 金刚石 散热 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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