[发明专利]一种三维连续网络亲水硼掺杂金刚石散热体及其制备方法和应用有效
申请号: | 202010390631.4 | 申请日: | 2020-05-11 |
公开(公告)号: | CN111647873B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 魏秋平;马莉;周科朝;于杨磊;李崧博 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/02;C23C16/56 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 钟丹;魏娟 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种三维连续网络亲水硼掺杂金刚石散热体及其制备方法和应用,所述亲水硼掺杂金刚石散热体包括三维连续网络金属骨架、金刚石层、硼掺杂金刚石层,所述三维连续网络金属骨架表面设置金刚石层,金刚石层表面设置硼掺杂金刚石层;所述硼掺杂金刚石层中硼含量从下至上逐步增加;所述硼掺杂金刚石层表面分布有微孔和/或尖锥;本发明先于三维连续网络金属骨架表面制备具有优异导热性能的金刚石膜层,然后再于金刚石膜层表面设置功能改性能硼掺杂金刚石层,且硼掺杂时进行梯度设置,与金刚石层接触的底层,采用微量硼掺杂,保持纯度,保证导热性,再逐步提高硼掺杂浓度,使顶层采用较高的硼含量,结合高温热处理,获得优异的亲水性。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 连续 网络 亲水硼 掺杂 金刚石 散热 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的