[发明专利]一种高纯铝靶材的焊接方法有效
申请号: | 202010392973.X | 申请日: | 2020-05-11 |
公开(公告)号: | CN111515484B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00;B23K3/08;B23K103/10 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种高纯铝靶材的焊接方法,所述方法包括;将高纯铝靶材和背板进行钎焊接,焊接完成后进行冷却;其中,所述高纯铝靶材的焊接面设置有凹槽;所述凹槽内设置有焊料槽;所述背板包括重复利用的背板。本发明中,通过对靶材焊接面特殊的设计及焊接方式的合理选择,解决了靶材和再次利用的背板进行焊接时的脱焊问题,通过该方法可实现焊接后的焊接率≥99.8%,单个缺陷率≤0.2%。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 铝靶材 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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