[发明专利]一种晶圆装载杯有效
| 申请号： | 202010398119.4 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN111482894B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;孟松林;温世乾;刘远航 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆装载杯，其包括：杯体，用于支撑承载头，包括圆环形的侧壁和圆盘状的底部，所述底部配置有贯穿的定位孔；托盘，设置于所述杯体的侧壁中以接收晶圆；连接件，其由圆盘状的盘部和轴部构成，所述盘部同轴连接于所述托盘的底部并且具有与所述定位孔竖直对齐的贯穿的安装孔；驱动装置，其与所述连接件的轴部连接以驱动所述托盘竖直移动；以及导向杆，其由顶端部和主体部构成，所述顶端部搭载于所述连接件的顶面，所述主体部穿过所述连接件的盘部的安装孔并可滑动地延伸穿过所述杯体的底部的定位孔；所述导向杆滑动连接于所述连接件的盘部的安装孔，所述导向杆与所述连接件的轴部平行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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