[发明专利]一种射频微系统三维封装外壳结构以及制作方法有效
申请号: | 202010401883.2 | 申请日: | 2020-05-13 |
公开(公告)号: | CN111785691B | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 庞学满;陈寰贝;梁秋实 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | H01L23/055 | 分类号: | H01L23/055;H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 徐尔东 |
地址: | 210016 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种射频微系统三维封装外壳结构以及制作方法,外壳本体采用BGA封装,外壳本体包括方型壳体,方型壳体包括陶瓷底座,在陶瓷底座内形成方形壳体的内腔,且内腔的开口未封闭;在陶瓷底座上固设焊环;在方型壳体内腔的四个侧壁上均设置若干层台阶;相邻两侧的台阶连接处布设垂直散热通道,相邻垂直散热通道之间通过散热连接材料连接;在内腔底面中心位置设置水平散热通道;在每层台阶上开设若干中心金属孔,在中心金属孔周围开设若干金属接地孔,且金属接地孔以中心金属孔的圆心作为中心分布;在中心金属孔、金属接地孔上均覆设焊盘;本发明具有集成度高、微波传输性能好、可实现垂直散热等方面的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 射频 系统 三维 封装 外壳 结构 以及 制作方法 | ||
【主权项】:
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