[发明专利]基于光波导多模成像的触觉传感器、系统及干扰检测方法有效
| 申请号： | 202010402651.9 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111289017B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 丁振名;张紫阳 | 申请（专利权）人： | 西湖大学;浙江西湖高等研究院 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01D3/028 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于光波导多模成像的触觉传感器，该触觉传感器包括衬底，以及布置在衬底上的输入光波导和多模干涉层；多模干涉层的折射率大于衬底的折射率；输入光波导的出射端与多模干涉层的入射端相连，多模干涉层作为触觉传感层，其入射端局部被刻蚀掉，形成多个镂空孔，构成散射扩束器结构。本发明的触觉传感器结构简单、成本低、尺寸小，灵敏度和空间分辨率高。并且通过分析输出图样的变化，可以实现触觉传感器上任意位置的分布式传感。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波导 成像 触觉 传感器 系统 干扰 检测 方法 | ||
【主权项】：
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