[发明专利]利用激光偏振态实现纳米光栅刻印的解决方案在审

专利信息
申请号: 202010402865.6 申请日: 2020-05-13
公开(公告)号: CN111830614A 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 兰胜;李树磊 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;B23K26/362
代理公司: 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 代理人: 潘素云
地址: 510006 广东省广州市番禺区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种利用激光偏振态实现纳米光栅刻印的解决方案,其中设计一种简单的结构,可以利用激光诱导纳米光栅制作超分辨图案,通过调节激光波长、功率、偏振方向改变纳米颗粒重塑强度和纳米光栅的取向,提出两种调节照明白光的偏振态实现颜色的调控的方法,实现对偏振的敏感感应,并得到的空间分辨率0.5微米的高分辨率、高饱和度颜色。形成的纳米光栅对反射光有偏振调控作用,利用纳米光栅对线偏振白光的保偏和旋转特性,可以在空间分辨率0.5微米的像素中识别角分辨率为10°的激光偏振态,实现超高密度光存储。相比于现有的SOI(Silicon‑On‑Insulator,绝缘衬底上的硅)刻蚀工艺,本发明的方案制作方法简单,没有复杂的工艺。
搜索关键词: 利用 激光 偏振 实现 纳米 光栅 刻印 解决方案
【主权项】:
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