[发明专利]低真空气体的快速无损采样装置及采样方法在审
| 申请号： | 202010403129.2 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111665102A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例中提供了低真空气体的快速无损采样装置及采样方法，无损采样装置包括：真空获得组件，用于获取一定气压的真空；采样组件，用于对待测气体进行减压采样得到采样气体；气体分析组件，用于在真空内对采样气体进行气体分析；以及连接真空获得组件、采样组件以及气体分析组件的控制模块；其中，气体分析组件设置开口与所述真空获得组件相连通。通过本申请的低真空气体的快速无损采样装置及采样方法可以使采样得到的气体含量比例与原有工艺腔室中的气源一致，实现无损采样，使最后的气体成分分析更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 气体 快速 无损 采样 装置 方法 | ||
【主权项】：
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