[发明专利]气体供应系统在审
| 申请号： | 202010405622.8 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN112086334A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 徐星杓;郑迺汉;欧炳志 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露描述了用于向离子注入工具提供混合气体的系统和方法。该系统包括供水源、电源、气体产生器。该气体产生器被配置为从该供水源和该电源产生第一气体。该系统亦包括：第一流量控制器，该第一流量控制器被配置为控制该第一气体的第一流率；气体容器，该气体容器用于提供第二气体；第二流量控制器，该第二流量控制器被配置为控制该第二气体的第二流率；以及气体管道，该气体管道被配置为将该第一气体和该第二气体混合成混合气体。可以将该混合气体递送到例如离子注入工具的离子源头。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供应 系统 | ||
【主权项】：
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