[发明专利]基于石墨烯的柔性光探测装置及其制造方法

摘要

本公开涉及一种基于石墨烯的柔性光探测装置及其制造方法。该方法包括制备单层石墨烯、制备柔性衬底上的第一金属电极和第二金属电极、制造n型石墨烯和p型石墨烯、制造透明栅极层的步骤。本公开实施例所提供的基于石墨烯的柔性光探测装置及其制造方法，制造装置的加工过程简单。使用同一种半导体实现了装置的制造，使得装置的制造效率高、成本低，且克服了相关技术中的界面问题、晶格不匹配问题。所制造的装置机械性能好，耐化学、耐酸耐碱性好，提高了装置的耐久性、稳定性和可靠性，且具有柔性适用于柔性电子领域。