[发明专利]一种环保型单晶硅制绒添加剂及其制备工艺,单晶硅制绒液以及制绒方法在审
申请号: | 202010408506.1 | 申请日: | 2020-05-14 |
公开(公告)号: | CN111647951A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 李然;范云堂;程寒松;闫缓 | 申请(专利权)人: | 杭州聚力氢能科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 浙江杭知桥律师事务所 33256 | 代理人: | 刘韵遥 |
地址: | 311305 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅片制绒剂技术领域,公开了一种环保型单晶硅制绒添加剂及其制备工艺,按照重量百分比计包括:木质素磺酸钠0.01‑0.5%,聚丙烯酸0.02‑1.2%,亚甲基双萘磺酸钠0.0001‑0.01%,聚乙二醇0.001‑0.01%,L‑半胱氨酸0.01‑2%,水96‑99%。还公开了单晶硅制绒液,将上述制绒添加剂加入到1%‑2%的氢氧化钠或氢氧化钾溶液中,在20‑80℃的温度下混合均匀即得。还公开了单晶硅表面制绒的方法:将预处理后的单晶硅片浸入制绒剂中进行制绒,制绒温度为70‑90℃,制绒时间为300‑1200s。本发明的制绒液的寿命长,挥发量少,补加量少,化学物质用量极低,制绒液及其废液颜色浅,化学需氧量极低,对环境污染小的同时也降低生产成本。制绒过程中气泡脱附及时,不会发生跳片或形成针点,绒面成核均匀,金字塔覆盖度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 环保 单晶硅 添加剂 及其 制备 工艺 制绒液 以及 方法 | ||
【主权项】:
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