[发明专利]一种高稳定法布里-珀罗腔装置及其应用的激光输出系统

摘要

本发明公开了一种高稳定法布里‑珀罗腔装置，包括有法布里‑珀罗腔体、真空室、壳体，法布里‑珀罗腔体内设置有平面反射镜、凹面反射镜，真空室罩设于法布里‑珀罗腔体外，在真空室两端设有密封法兰窗片，真空室通过抽气支管连接分子泵，分子泵法对法布里‑珀罗腔体、真空室与密封法兰窗片构成抽的空间进行抽真空，壳体套设于真空室外，在壳体外表面设置有半导体制冷片，半导体制冷片连接有水冷机。本发明采用膨胀系数在10‑6k‑1微晶玻璃制成法布里‑珀罗腔，对其进行温度控制，并使其处于真空环境中，降低激光频率噪声，提高激光频率稳定性，同时使用PDH技术，压窄激光线宽，获得高稳定性、复现性、窄线宽宽等优点的632.8nm频率参考及激光。