[发明专利]一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置有效
| 申请号： | 202010408842.6 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111584426B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12;H01L21/768 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置。所述制备方法包括步骤：提供一衬底基板；在所述衬底基板上制备第一阻挡层；在所述第一阻挡层上制备导电层；在所述导电层上制备第二阻挡层；在所述第二阻挡层上形成光阻图案；对所述第一阻挡层、所述导电层、以及所述第二阻挡层进行第一次湿刻蚀，其中，所述第二阻挡层端部形成第一凸起；对所述光阻图案进行等离子体处理，所述光阻图案与所述第二阻挡层之间形成第一间隙；对所述第一阻挡层、所述导电层、以及所述第二阻挡层进行第二次湿刻蚀。本发明实施例有效去除顶部阻挡层产生的帽檐，避免后续制备介电层时发生破裂、断膜现象，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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