[发明专利]一种基于化学镀工艺的金属微纳三维打印装置和方法

摘要

本发明属于仪器仪表技术领域，具体为一种基于化学镀工艺的金属微纳三维打印装置和方法。本发明装置由中空微管、固定支架、手动调节台、电控调节台、光学显微镜、电脑等组成。中空微管尖端直径决定了打印图案的线条精度。通过电脑控制电控位移台按照预设图案带动微管和试样表面间液柱的移动，实现图案的写入。本发明包括两种基于化学镀的金属微纳三维图案打印方法，一是先在试样表面上用敏化液直写出预设的微纳结构，然后用常规化学镀工艺实现金属层沉积；二是先在试样表面大面积沉积敏化层，然后将化学镀液直写到沉积有敏化层的试样表面，实现微纳结构的金属层沉积。