[发明专利]一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010409729.X | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111573678A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘骏;蔡璐;刘波;王钢;汪国雄;张海波 | 申请（专利权）人： | 湖南太子新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/977 | 分类号： | C01B32/977 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 415000 湖南省常德市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法，包括喷膜料桶，所述喷膜料桶的上表面中间位置处嵌入滑动安装有顶杆，所述顶杆的上端设置有第一密封盖，所述第一密封盖的上表面中间位置处固定连接有拉环，所述喷膜料桶的下表面设置有喷膜板，所述喷膜板的下表面设置有第一密封垫片。本发明涉及碳化硅薄膜制备技术领域，该碳化硅薄膜成型装置，通过滑轴的外表面位于挡块的一侧位置处套接滑动安装有弹簧，利用弹簧的弹性，拉动滑轴上的把手，可以快速的完成第一密封盖或第二密封盖的安装或拆卸工作，代替了传统螺栓固定方式，节省了第一密封盖或第二密封盖的安装或拆卸的时间，同时也降低了人工的劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 薄膜 成型 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
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