[发明专利]曝光装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202010410604.9 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111948909A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 繁延笃;吉冈勇德;岛崎将俊 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 汪晶晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了曝光装置和物品制造方法。提供了一种曝光装置，该曝光装置执行在交换基板的同时曝光多个基板中的各个基板的作业处理。该装置包括被配置为保持基板的基板保持器以及被配置为控制作业处理的控制器。控制器基于作业处理的经过时间与基板变形量之间的关系来校正由于基板的变形而生成的重叠误差，并曝光基板。在该关系中，在基板交换时输送到基板保持器的基板被赋予初始变形量，该初始变形量与基板保持器在基板交换时的残留热量对应。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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