[发明专利]一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法有效

专利信息
申请号: 202010411303.8 申请日: 2020-05-15
公开(公告)号: CN111505345B 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 马建立;李姮;孙伟皓;于洁;吴成伟;张伟;韩啸;马国军;吕永涛 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: G01Q60/38 分类号: G01Q60/38
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 李晓亮;潘迅
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法,属于原子力显微镜的测量技术领域,包括以下步骤:准备待修饰的纳米颗粒;准备修饰过程中需要的胶水;准备探针;准备扫描电镜工作舱;采用扫描电镜微操控系统进行探针修饰;干燥探针。本发明的修饰过程可视,能选取特定尺寸和分散状态的纳米颗粒对待修饰探针进行修饰,实现修饰纳米颗粒状态可控;其次,可视操作能够明确修饰位置,将纳米颗粒精确修饰至待修饰探针针尖处,避免了“先修饰后观察”的现象,提高了探针的修饰效率。本发明操作简单易行,修饰成功率高,所得探针与颗粒间具有足够的强度用于原子力测试。
搜索关键词: 一种 基于 扫描电镜 操控 系统 原子 显微镜 探针 修饰 方法
【主权项】:
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