[发明专利]一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法有效
申请号: | 202010411303.8 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN111505345B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 马建立;李姮;孙伟皓;于洁;吴成伟;张伟;韩啸;马国军;吕永涛 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01Q60/38 | 分类号: | G01Q60/38 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 李晓亮;潘迅 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法,属于原子力显微镜的测量技术领域,包括以下步骤:准备待修饰的纳米颗粒;准备修饰过程中需要的胶水;准备探针;准备扫描电镜工作舱;采用扫描电镜微操控系统进行探针修饰;干燥探针。本发明的修饰过程可视,能选取特定尺寸和分散状态的纳米颗粒对待修饰探针进行修饰,实现修饰纳米颗粒状态可控;其次,可视操作能够明确修饰位置,将纳米颗粒精确修饰至待修饰探针针尖处,避免了“先修饰后观察”的现象,提高了探针的修饰效率。本发明操作简单易行,修饰成功率高,所得探针与颗粒间具有足够的强度用于原子力测试。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 扫描电镜 操控 系统 原子 显微镜 探针 修饰 方法 | ||
【主权项】:
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