[发明专利]一种透明彩色碳化硅多晶板的制备方法在审
| 申请号： | 202010412604.2 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111411396A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李祥彪;杨培培;仲崇贵 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | C30B28/12 | 分类号： | C30B28/12;C30B29/36 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 许洁 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明彩色碳化硅多晶板的制备方法，通过使用图形化碳化硅单晶或多晶衬底片，将衬底背面固定在石墨坩埚顶部上盖内侧，石墨坩埚底部放入碳化硅原料，将石墨坩埚放入高温生长炉中，使石墨坩埚底部位于高温区，顶部位于较低温度区，从而在石墨坩埚轴向形成温度梯度，采用物理气相传输法在所述图形化碳化硅衬底上生长出碳化硅多晶块，经切割研磨抛光，可以得到透明彩色碳化硅多晶板。本发明制备方法简单，所述透明彩色碳化硅多晶板相比较于传统碳化硅陶瓷，其致密性更好，成分纯度高，热导率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 彩色 碳化硅 多晶 制备 方法 | ||
【主权项】：
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