[发明专利]一种转移石墨烯的操作方法有效

专利信息
申请号: 202010415172.0 申请日: 2020-05-15
公开(公告)号: CN111661842B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 牛刚;武和平;任巍;姜陆月 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 房鑫
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种转移石墨烯的操作方法,包括以下步骤:在生长基底/石墨烯的石墨烯一侧旋涂熔融的石蜡,在石蜡层上旋涂保护层材料,获得生长基底/石墨烯/石蜡/保护层复合结构;使用腐蚀性溶液将生长基底去除,获得石墨烯/石蜡/保护层复合结构;借助石蜡的高热膨胀系数减少石墨烯的褶皱,然后将将石墨烯/石蜡/保护层复合结构由水面转移到目标衬底,获得目标衬底/石墨烯/石蜡/保护层复合结构;溶解掉目标衬底/石墨烯/石蜡/保护层复合结构中的保护层和石蜡层,获得目标衬底/石墨烯结合体,清洗干燥完成转移。本发明的操作方法在石蜡层上旋涂了保护层,能够实现石墨烯薄膜大面积清洁地转移到目标基底上。
搜索关键词: 一种 转移 石墨 操作方法
【主权项】:
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