[发明专利]高抗振性电子散斑干涉实时相位测量系统和方法有效

专利信息
申请号: 202010415402.3 申请日: 2020-05-15
公开(公告)号: CN111578856B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 刘斌 申请(专利权)人: 上海工程技术大学
主分类号: G01B11/16 分类号: G01B11/16
代理公司: 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 代理人: 程凌军
地址: 200336 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供一种高抗振性电子散斑干涉实时相位测量系统,其包括:迈克尔逊干涉仪,其包括相移镜和高速相机;压电陶瓷,用于前后移动所述相移镜;驱动器,用于驱动所述压电陶瓷;控制器,分别与所述驱动器和高速相机连接,所述高速相机以周期t在所述正弦电压信号上升段的中间4t时间内等时间间隔采集A、B、C和D四个时刻的四幅散斑干涉图像,获得对应的光强分布IA、IB、IC、ID,在所述4t时间内所述相移镜的位移为3λ/8,λ为干涉光的波长;以及处理器,用于将所述IA、IB、IC、ID进行n等分,对n等分的子图像多线程并行计算获得n个子相位图,拼接n个子相位图,获得表征被测物体离面位移或离面位移导数的实时相位。
搜索关键词: 高抗振性 电子 干涉 实时 相位 测量 系统 方法
【主权项】:
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