[发明专利]一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法。本发明的检测装置包括对二维焦平面扫描的激光超声发射模块、与激光超声发射模块匹配的激光超声接收模块，同时连接并协同控制激光超声发射模块与激光超声接收模块的工控模块，所述激光超声发射模块由聚焦振镜和脉冲激光器构成，所述激光超声接收模块由聚焦振镜和激光干涉仪构成，所述工控模块由用于双聚焦振镜协同控制的控制卡1、控制卡2、与两张控制卡匹配的控制软件、超声数据采集卡和全聚焦成像软件构成。本发明可以实现工业部件内部缺陷的非接触式、高效率和高分辨率的超声三维全聚焦成像。