[发明专利]一种在合金刀具上制作超硬高熵合金氮化物涂层的方法在审
| 申请号： | 202010418122.8 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111560582A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 夏原;许亿;李光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在合金刀具上制作超硬高熵合金氮化物涂层的方法，包括如下步骤：对待涂层的合金刀具分别进行除油、除锈以及清洗处理，随后烘干；将清洗后的合金刀具放置于真空室内，对真空室进行抽真空操作，然后对合金刀具进行辉光清洗；辉光清洗结束后，调整氩气流量，开启HiPIMS电源并调整预定参数；通过外加电源给合金刀具提供预定参数；然后溅射AlCrTiVZr靶材，沉积时间1min‑10min后，在合金刀具表面形成AlCrTiVZr过镀层；保持既有的溅射条件不变，逐渐通入反应气体氮气，沉积后在合金刀具的表面形成高熵合金氮化物涂层。本发明所制备的(AlCrTiVZr)N涂层为单一的FCC晶体结构且趋向于纳米化，其硬度可达超硬水平41.8GPa，表面粗糙度降低至2nm以下，远超出本领域技术人员的预想范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金刀具 制作 超硬高熵 合金 氮化物 涂层 方法 | ||
【主权项】：
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