[发明专利]一种动态可控的磁控溅射自动测量控制膜厚装置在审
| 申请号： | 202010419092.2 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111501005A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 左佑;陈功;刘子康;张家华;朱永康;宗律;房澍;郭天煜;李洁玲;李梦云 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 林娟 |
| 地址： | 213032 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态可控的磁控溅射自动测量控制膜厚装置，属于真空镀膜领域以及自动化检测及控制领域。所述装置包括：靶材、环形导轨、运动小车、测量装置；所述靶材设于环形导轨中心位置；所述运动小车安装在环形导轨上并沿环形导轨运动；所述测量装置包括中心杆、主旋转筒、膜厚测量仪、第一旋转导向组件、第二旋转导向组件、升降伺服电机；所述膜厚测量仪固定于主旋转筒的上端。本发明可以通过改变运动小车在环形轨道上的位置，并通过主旋转筒来改变膜厚测量仪的测量高度，从而实现在不同位置的、动态的磁控溅射自动检测控制膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 可控 磁控溅射 自动 测量 控制 装置 | ||
【主权项】：
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