[发明专利]一种小磨头辅助大气等离子体抛光碳化硅反射镜方法在审
| 申请号： | 202010420477.0 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111515769A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 宋力;徐学科;顿爱欢;王哲;吴伦哲;彭冰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B27/033;B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及碳化硅(SiC)光学反射镜表面超光滑精密加工技术领域，具体涉及一种小磨头辅助大气等离子体抛光SiC反射镜加工方法。以解决现有大气等离子体加工时，表面产生氟碳化合残留物，致使光学反射镜表面质量严重下降问题。首先用大气等离子体以He为载气，CF |
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| 搜索关键词： | 一种 小磨头 辅助 大气 等离子体 抛光 碳化硅 反射 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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