[发明专利]一种超滑二硫化钨/含氢碳薄膜及其制备方法有效
申请号: | 202010422837.0 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN111455386B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 张斌;张俊彦;贾倩;强力;高凯雄;张兴凯 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04;C23C14/06;C23C14/35;C23C16/30;C23C16/50 |
代理公司: | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人: | 张英荷 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: |
本发明公开了一种超滑二硫化钨/含氢碳薄膜,是在基底表面构建一个双层薄膜体系,该双层薄膜体系包括附着于基底表面的含氢碳薄膜和附着于碳薄膜表面的WS |
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搜索关键词: | 一种 超滑二 硫化 含氢碳 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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