[发明专利]单晶炉加热器在审
| 申请号： | 202010423683.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111394798A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王东;张志耀;何志国 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;H05B3/66 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 054000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉加热器，包括：本体，所述本体包括多个加热部，多个所述加热部首尾相连围设成环状，每个加热部包括多个加热板；加热器腿，所述加热器腿位于两个加热部之间；第一连接件和第二连接件，其中，相邻的两个所述加热部通过所述第一连接件相连接，所述加热器腿与其相邻的两个加热部通过第二连接件相连接。本发明实施例的单晶炉加热器，各个部件可以单独加工，装配使用，避免了单晶炉加热器通过整块石墨材料加工而成，较大的减少了石墨材料的使用，从而有效的降低了单晶炉加热器的成本，且在使用一段时间后，只需要将老化的部件进行更换而无需单晶炉加热器整体报废，从而进一步的降低了单晶炉加热器的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加热器 | ||
【主权项】：
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