[发明专利]一种压电传感器在审
| 申请号： | 202010423810.3 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111584709A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 马春林;程菊;冯小勤 | 申请（专利权）人： | 淮阴师范学院 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/047 |
| 代理公司： | 广州高炬知识产权代理有限公司 44376 | 代理人： | 陈文龙 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，具体的说是一种压电传感器，包括基板、设置于基板上的下部电极、设置于下部电极上的压电薄膜及设置于压电薄膜上的上部电极；所述基板包括硅基底板、柔性弧形基底及柔性顶板，所述硅基底板之间设置有辅助槽口，所述辅助槽口两侧边之间设置有向上拱起的柔性弧形基底，所述柔性弧形基底及柔性顶板所用的材料为聚二甲基硅氧烷；本发明通过改变压电传感器的结构以优化对应的谐振频率和有效质量分布状态，进而提高压电传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 传感器 | ||
【主权项】：
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