[发明专利]一种石墨烯电极谐振子及其制造方法有效
| 申请号： | 202010423888.5 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111575673B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王飞;卢广锋;王凡 | 申请（专利权）人： | 湖南二零八先进科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/02;C23C16/52;G01C19/5691 |
| 代理公司： | 北京山允知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11741 | 代理人： | 胡冰;宋少华 |
| 地址： | 410005 湖南省长沙市开福区芙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种石墨烯电极谐振子的制造方法，包括：1)在管式炉中，将谐振子安置于石英管中，并将充入惰性气体来清除石英管中的空气；2)加热至1000～1200℃保持30～60分钟；3)反应结束时，在惰性气体下系统冷却至室温。本发明还提出一种石墨烯电极谐振子，包括：谐振子石英壳体层和谐振子石墨烯电极层，谐振子石墨烯电极层附着在谐振子石英壳体层内侧。本发明提出的石墨烯镀膜谐振子电导率高，电容效应好，电荷存储多，交换效率高，可以降低谐振子驱动电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 电极 谐振子 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
