[发明专利]一种MEMS芯片唯一标识符装置及其实现方法在审
| 申请号： | 202010424735.2 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111458625A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;莱昂纳多·萨拉;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;梁泽山;孙斯佳;张晓磊;陈琳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;B81C99/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种MEMS芯片唯一标识符装置，包括MEMS芯片，MEMS芯片敏感元件区域，MEMS芯片唯一标识符电阻，MEMS芯片唯一标识符电阻焊盘；MEMS芯片敏感元件区域是MEMS芯片的主要敏感元件区域，有多种结构；MEMS芯片唯一标识符电阻的焊盘，用于电阻条的电学连接。一种MEMS芯片唯一标识符装置的实现方法，在晶圆分选测量过程中被编写到测试程序中，芯片在晶圆内所在位置在测试过程中会由测试机台辨识，测试结果和X，Y,坐标数据和晶圆ID(w)组成的唯一标识符匹配。本发明的优点：永久保存在MEMS芯片中的唯一标识符。能利用唯一标识符提高可追溯性和可测试性。既能专门设计，也能通过共用MEMS产品中现有专用集成电路实现，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 唯一 标识符 装置 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
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