[发明专利]自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法在审
| 申请号： | 202010425026.6 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111477529A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;苏乃波;王斌;董阳;郭文明;梁祖明;黄国华;唐强 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/48 | 分类号： | H01J29/48;H01J29/56 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 陈跃琳 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法，采用分裂式罗柯夫斯基线圈作为检测元件，结合脉冲电子束技术，实现了电子束斑点形貌的无接触检测。分裂式罗柯夫斯基线圈以差模信号输出，以检测信号的最小值为消像散装置校正目标，既简化了检测信号的处理方式又消除了共模干扰信号的影响，提高检测的灵敏性和精度。分轴搜寻“最佳”消像散装置的励磁电流，实现快速搜寻。检测信号的幅值及平均值的加权值更能充分体现电子束斑点形貌的差异，以加权值综合数据作为判断依据，“最佳”值的两轮搜寻确认，进一步提高可靠性及减少随机性。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 消像散 电子枪 方法 | ||
【主权项】：
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