[发明专利]一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法有效
| 申请号： | 202010425438.X | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111536873B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张祥朝;刘毓哲;牛振岐 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 陆惠中;王永伟 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密测量技术领域，具体为一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行测量的方法。本发明的实施步骤为：在偏折测量系统中采用两个相机，保证其测量视场有一定重合；基于双目偏折测量技术对重合视场的面形进行测量，然后将该数据点集与工件的设计面形进行配准，将设计方程移动到实际测量数据的配准位置处；保持测量数据的位置不动，采用单目偏折测量迭代得到被测元件的面形。本方法结合了单目测量和双目测量两种测量方法的优势，采用双目方法确定被测元件的位置，消除单目偏折测量的高度‑斜率歧义性，然后采用单个相机进行测量，克服双目测量视场较小的缺点，本发明方法对于大尺寸元件的精密测量具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 辅助 相机 单目偏折 测量 工件 进行 方法 | ||
【主权项】：
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