[发明专利]半导体设备的串口数据采集方法、装置及设备在审
| 申请号： | 202010426776.5 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111651390A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 钟晨玉;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F13/40 | 分类号： | G06F13/40 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 姚琳洁;朱文杰 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种半导体设备的串口数据采集方法、装置及设备，用以解决半导体设备的串口数据采集速率慢、导致工艺稳定性差的技术问题。所述方法包括：向半导体设备发送针对多个第一通道的数据读取指令；半导体设备用于根据所述数据读取指令读取各所述第一通道的通道数据，以及将各所述通道数据打包为数据包发送至系统控制端；接收半导体设备返回的所述通道数据对应的所述数据包；对所述数据包进行解析，得到各所述第一通道的通道数据；将各所述第一通道的通道数据分别存储至各所述第一通道对应的缓存空间。该技术方案提高了数据采集速率，确保系统控制端工艺的稳定性，为系统控制端的相关工艺问题和优化工艺结果提供有效的数据支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 串口 数据 采集 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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